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内层线路干膜或专用湿膜曝光

★优化标靶识别系统的内层高效曝光专门机型

★联线加工效率高达10000片/天

★高精度、层间对准度,满足精细线路加工

★曝光工序全数字化作业,跨入工业4.0智能制造


技术参数
  • 最大曝光尺寸

    大台面:24.5"×28.5"

    标准台面:22"×24.5"

  • 层间对位精度

    ±25?m

  • 光源

    405nm

  • 板厚

    单机:0.05-5.0mm

    连线:0.075-2.5mm

  • 景深

    ±300?m

  • 线宽精度

    ±10%

  • 对位精度

    ±12?m

  • 适配性

    适配于智能制造系统

  • 生产效率

    单机:420面/小时

    连线:10000panels/day

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